一种在真空室内OLED掩模板与镀膜基片的自动分离机构

• 作者: 王银果
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: 磁性掩膜板 基片 磁力吸板 夹持器 顶柱 顶轮
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 测试工具与解决方案
• 页码范围: 94-95,68
• 页数: 3页
• 字数: 1893字
• 语种: 中文

摘要

本机构主要包括磁性掩膜板夹持机构、顶柱嵌套机构、夹持器顶轮机构和掩膜板接受台.主要功能是在真空室内将完成镀膜后的掩膜板从夹持机构中分离,从而达到掩膜板与镀膜基片在真空状态下完成全自动分离动作的工艺要求,提高掩膜板在真空镀膜生产线中的分离、清洗维护及使用效率,从而提高镀膜生产线的生产效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王银果		4	0	0.0	0.0