WO3气敏传感材料及器件的研究进展

• 作者: 字包叶 曾吉阳 柳清菊 荣茜 邓细宇 邝鑫雅 马艺文
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 地球科学
• 关键词: 气敏传感器 三氧化钨 纳米结构 气敏性能
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 综述·进展
• 页码范围: 12065-12071
• 页数: 7页
• 分类号: X502
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2020.12.010

摘要

随着人类的发展与社会的进步,人们对身边的环境问题越来越重视,尤其是对有毒有害气体的检测,而金属氧化物气敏传感器就可以解决这一问题.金属氧化物半导体气体传感器由于小巧、成本低廉、使用便捷、响应迅速等特点而被广泛的研究与应用.三氧化钨(WO 3)作为一种典型的n型半导体气敏材料,因其独特的气敏性能在检测各种有毒有害气体方面引起了广泛关注.传感材料的结构与形貌、暴露晶面、氧化物和贵金属的引入对改善材料的气敏性能起着关键性的作用.总结了近几年对一维,二维和三维WO 3材料的合成、界面的调控和对其改性方法、气敏性能的研究及相关机理的分析,提出了目前基于WO 3的气敏传感器研究过程中存在的问题,并对其未来发展趋势进行了展望.