石墨坩埚厚度对感应加热制备太阳能级多晶硅影响的数值模拟研究

• 作者: 安百俊 李进 韩博
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 多晶硅 固液界面 石墨坩埚 定向凝固 数值模拟
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1904-1910
• 页数: 7页
• 分类号: O782
• 语种: 中文

摘要

定向凝固法制备的多晶硅是目前主要的光伏原材料,制备过程中热场结构和硅熔体对流形态对于生长高质量的多晶硅极为重要,本文利用专业晶体生长软件CGSim对制备太阳能级多晶硅用真空感应铸锭炉中的石墨坩埚进行改进并进行了数值模拟,分析了不同石墨坩埚厚度的变化对热场、流场、固液界面、硅晶体应力场以及和V/G值的影响.结果表明,当石墨坩埚厚度为20 mm,可获得良好的对流形态、平坦的固液界面、合理的V/G值等,有利于节约多晶硅的生产成本并提高多晶硅的品质,为生产实践中工艺方案优化及缺陷分析等提供重要的理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李进		40	206	7.0	13.0
2	韩博		1	0	0.0	0.0
3	安百俊		1	0	0.0	0.0