一种宽域型氧气传感器的制备及其性能研究

• 作者: 杨斌 王超 肖建中
• 来源期刊: 传感技术学报
• 关键词: 氧气传感器 宽域型 丝网印刷 极限电流 加热器
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器研究|Research on Sensors
• 页码范围: 1713-1717
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2020.12.006

摘要

采用流延技术制备了YSZ电解质膜,并在其两面丝网印刷了电极和扩散障,将它们叠层共烧获得了氧气传感器.再将它与在氧化铝基片上丝网印刷铂浆制备的加热器组装获得了传感器器件,并测试了相关性能.加热器温度随输入电压增大而迅速上升,在13 V时可达690℃.通过对传感器在空气中线性电压扫描测试,典型的极限电流平台在输入电压为9 V、11 V和13 V时均被发现,表明它在此工作温度范围内具有监测21％以下氧气浓度的能力.扫描电压固定在0.7 V,又在这三种工作温度下测试了它对1％～21％范围内不同浓度氧气的响应电流信号.发现传感器可在10 s内快速响应,信号值与氧气浓度间存在较好的线性关系,且重复性好,表明它具有快速监测宽域氧气浓度的稳定性能.