基于数字全息扫描成像的划痕缺陷全场三维测试

• 作者: 冯丹青 冯方 刘丙才 刘卫国 田爱玲 陈晨
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 全息 划痕检测 数字全息 扫描拼接 全场测试
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 全息与信息处理
• 页码范围: 253-260
• 页数: 8页
• 分类号: O438.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0409003

摘要

为实现光学元件表面疵病的三维全场测量,提出了一种数字全息显微扫描成像的检测方法.该方法基于数字全息角谱数值重建算法,获得光学元件表面划痕的相位分布,通过扫描拼接实现划痕的全场测量;然后,在数字全息显微实验装置的基础上增加二维精密扫描部件,对于宽50 μm、深50 nm标准划痕,测得其宽度为49.2 μm、深度为48.9 nm,同时拼接获得该划痕的全场三维形貌.实验表明:该检测方法可实现大视场划痕缺陷的全场三维测试,其宽度和深度测量的相对误差分别为1.6％和2.2％.