耐1000℃高温的Pt/ITO薄膜电极SAW温度传感器

• 作者: 刘兴鹏 岳虎虎 张万里 彭斌 房赛 李凌 王博文
• 来源期刊: 中国测试
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 温度传感器 CTGS 多层薄膜电极
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 67-72
• 页数: 6页
• 分类号: TP391|TB9
• 语种: 中文
• DOI: 10.11857/j.issn.1674-5124.2020100110

摘要

SAW温度传感器具有无线无源的特点,在高温等恶劣环境中具有良好的应用前景.电极的高温稳定性是影响SAW温度传感器件工作温度的重要因素,采用耐高温的压电材料CTGS作为压电基底,通过PLD技术在压电基底表面制备Al2O3/ITO/Pt/Al2O3多层薄膜作为电极,氧化铝作为保护层能够抑制高温下金属薄膜的团聚现象以提高电极的高温稳定性,利用高温下ITO薄膜的导电性来补偿Pt薄膜高温下增大的电阻率,这种多层薄膜结构能够在高温环境中保持较好的稳定性.测试结果表明,所制作的SAW温度传感器可以工作至1000℃,在1000℃环境中持续工作5 h,并具有较好的重复性,这是由于所采用的Pt/ITO薄膜电极在高温下仍具有良好的导电性所致.