阴阳离子共掺杂ZnO透明导电薄膜的研究进展

• 作者: 刘益春 李鹏 杨国春 林东 马剑钢
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 透明导电薄膜 氧化锌 阴阳离子共掺杂 缺陷 热稳定性
• 年，卷（期）: 2020,（25）
• 所属期刊栏目: 评述
• 页码范围: 2678-2690
• 页数: 13页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/TB-2020-0262

摘要

ZnO基透明导电薄膜具有成本低、环境友好、抗辐射能力强、对H等离子体耐受性好等优点,是金属氧化物半导体研究领域的一个极为重要的方向,目前,无论阳离子还是阴离子单独掺杂的ZnO透明导电薄膜在电导率、可见光透过率和热稳定性等方面依然不能完全满足光电器件的要求,为此人们开展了阴阳离子共掺杂ZnO薄膜光电性质的研究工作,取得了良好的效果.本文从理论和实验研究两方面,总结了阴阳离子共掺杂ZnO透明导电薄膜的最新研究成果,系统阐述了阴阳离子对ZnO薄膜的光学、电学和热稳定性的影响规律,分析了阴阳离子共掺杂ZnO研究所面临的问题和挑战,为相关领域的研究和发展提供借鉴和参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李鹏		15	13	2.0	3.0
2	刘益春		50	292	10.0	15.0
3	杨国春		12	43	4.0	5.0
4	马剑钢		6	5	2.0	2.0
5	林东		4	3	1.0	1.0