金属间化合物Ni3Al薄膜制备工艺

• 作者: 卢硕 王明 纪红
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: Ni3Al薄膜 磁控溅射 微观结构 高温抗氧化性
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 183-186
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13251/j.issn.0254-6051.2020.05.036

摘要

采用直流磁控共溅射法,通过一步法、两步法工艺在衬底为SiO2基体上制备了厚度为500 nm的Ni3Al薄膜,X射线衍射(XRD)和透射电镜(TEM)等测试表明,一步法工艺制备的Ni3Al薄膜为(111)取向的多晶型晶体结构金属间化合物优于两步法工艺.采用光学显微镜观察Ni-Al合金薄膜和金属间化合物Ni3Al薄膜经高温氧化后的形貌,结果表明,Ni3Al金属间化合物薄膜的高温抗氧化性能明显优于Ni-Al合金薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	纪红	国合通用测试评价认证股份公司技术中心	4	1	1.0	1.0
2	王明	国合通用测试评价认证股份公司技术中心	2	0	0.0	0.0
3	卢硕	国合通用测试评价认证股份公司技术中心	3	0	0.0	0.0