介质材料二次电子发射特性对微波击穿的影响

• 作者: 曹猛 殷明 翁明 谢少毅
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 二次电子发射系数 二次电子能谱 表面电位 微波击穿
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 300-306
• 页数: 7页
• 字数: 4599字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.69.20200026

摘要

以介质填充的平行板放电结构为例,本文主要研究了介质填充后微波低气压放电和微放电的物理过程.为了探究介质材料特性对微波低气压放电和微放电阈值的影响,本文采用自主研发的二次电子发射特性测量装置,测量了7种常见介质材料的二次电子发射系数和二次电子能谱.依据二次电子发射过程中介质表面正带电的稳定条件,计算了介质材料稳态表面电位与二次电子发射系数以及能谱参数的关系.在放电结构中引入与表面电位相应的等效直流电场后,依据电子扩散模型和微放电中电子谐振条件,分别探讨了介质表面稳态表面电位的大小对微波低气压放电和微放电阈值的影响.结果表明,介质材料的二次电子发射系数以及能谱参数越大,介质材料的稳态表面电位也越大,对应的微波低气压放电和微放电阈值也越大.所得结论对于填充介质的选择有一定的理论指导价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢少毅		3	0	0.0	0.0