基于楔形基板沉积碳纳米管薄膜的实验研究

• 作者: 易勋
• 来源期刊: 集成电路应用
• 关键词: 碳纳米管 溶液蒸发 取向排列 弯月面 楔形基板
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与设计|Research and Design
• 页码范围: 26-27
• 页数: 2页
• 分类号: TB383.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2020.05.008

摘要

分析表明,不同于传统硅基电子器件依靠CMOS工艺对性能进行调控,未来极具潜力的碳基电子器件,以碳纳米管薄膜晶体管为例,其性能主要取决于碳纳米管薄膜的成膜质量,尤其是形成薄膜的碳纳米管的取向与排列.提出一种基于楔形基板的成膜方案,讨论溶液蒸发过程中碳纳米管的取向与排列,分析碳纳米管溶液表面的蒸发现象,对比楔形基板的控制参数.基于显微镜观测的碳纳米管薄膜图像表明,通过楔形基板配合溶液法制备定向排列的碳纳米管薄膜是可能的.