本文采用磁控溅射CIGS四元陶瓷靶材制备吸收层,高温退火采用H2Se为硒源,研究高温退火预热时间对CIGS光伏太阳能电池性能的影响.研究表明,预热时间对CIGS晶粒大小和吸收层与背电极结合性有着重要影响.随着预热时间的增加,CIGS晶粒增加,当预热时间为4.5min时,吸收层CIGS晶粒最大;但随着预热时间增加至5min时,吸收层与背电极结合性变差.吸收层晶粒尺寸增大,减少了晶界缺陷,有利于增加吸收层少子等效扩散长度,从而有利于提高电池开路电压和短路电流,最终提高电池转化效率,当预热时间为4.5m i n时,电池主要性能参数最优.当预热时间为5min时,吸收层CIGS与背电极Mo结合性相对较差,从而不利于短路电流的提高,并最终影响电池转化效率的提升.