昆明物理研究所分子束外延碲镉汞薄膜技术进展

• 作者: 任洋 孔金丞 李艳辉 李雄军 杨春章 杨晋 王向前 王善力 胡旭 覃钢 赵俊 陈卫业 陈逍玄
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分子束外延 碲镉汞 碲锌镉衬底 异质衬底 红外探测器
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 特邀综述
• 页码范围: 2221-2229
• 页数: 9页
• 分类号: TN215
• 语种: 中文

摘要

碲镉汞(MCT)自从问世以来一直是高端红外(IR)探测器领域的首选材料,分子束外延碲镉汞技术具有低成本异质外延、材料能带精准调控、原位成结等优势,是第三代红外焦平面陈列(FPA)器件研制的重要手段.本文报道了昆明物理研究所分子束外延(MBE)MCT薄膜技术进展,包括材料结构、晶体质量、表面缺陷、材料均匀性、掺杂浓度等参数优化控制的研究结果.异质衬底、碲锌镉衬底上MCT薄膜尺寸分别为4英寸(10.16 cm)及2.5 cm×2.5 cm,材料EPD值分别在1×106 cm-2附近及(3～30)×104 cm-2范围,表面宏观缺陷密度分别在30 cm-2附近及100～300 cm-2范围,薄膜质量与国内外先进水平相当.采用分子束外延MCT薄膜实现了2048×2048中波红外(MWIR)、2048×2048短波甚高分辨率红外(SWIR)焦平面、640×512中短双色红外(S-MWIR)、320×256中中双色红外(M-MWIR)FPA探测器的研制和验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵俊	中国科学院昆明物理研究所	13	83	5.0	9.0
2	李艳辉	中国科学院昆明物理研究所	14	161	6.0	12.0
3	胡旭	中国科学院昆明物理研究所	11	99	4.0	9.0
4	任洋	中国科学院昆明物理研究所	2	1	1.0	1.0
5	杨晋	中国科学院昆明物理研究所	23	91	5.0	9.0
6	王向前	中国科学院昆明物理研究所	4	6	2.0	2.0
7	王善力	中国科学院昆明物理研究所	4	12	2.0	3.0
8	孔金丞	中国科学院昆明物理研究所	2	0	0.0	0.0
9	杨春章	中国科学院昆明物理研究所	2	0	0.0	0.0
10	覃钢	中国科学院昆明物理研究所	2	0	0.0	0.0
11	陈卫业	中国科学院昆明物理研究所	1	0	0.0	0.0
12	陈逍玄	中国科学院昆明物理研究所	1	0	0.0	0.0
13	李雄军	中国科学院昆明物理研究所	1	0	0.0	0.0