基于FIB辐照加工制备三维结构的动态过程

• 作者: 付学成 沈贇靓 王英 瞿敏妮
• 来源期刊: 实验室研究与探索
• 学科: 工学
• 关键词: 三维微纳结构 聚焦离子束 辐照 动态分析 金膜
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 分类号: TN305|TN405
• 字数: 2880字
• 语种: 中文

摘要

基于FIB直写及辐照技术加工制备了金膜的三维立体结构,并测量了薄膜结构形变量随辐照时间的变化,分析了其动态变化过程及机理.结果表明,金膜在离子束辐照下,金原子和镓离子相互作用,在金膜内部产生空位及位错,从而引起薄膜应力,经过一定的弛豫时间,应力发生释放,随后三维结构的形变量随着镓离子辐照剂量的增加缓慢变化.