利用FFV预测缓蚀剂在不同体系中的协同效应

• 作者: Vahdat Zahedi Asl Yahya Palizdar 张晨 李明杰 樊保民 赵景茂 陆原
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 缓蚀剂 缓蚀率 腐蚀 协同效应 自由体积分数
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 所属期刊栏目: 专题——缓蚀剂及应用技术
• 页码范围: 58-65
• 页数: 8页
• 分类号: TG174.42
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.11.007

摘要

目的 研究一种分析缓蚀组分间协同效应的新方法.方法 使用Material Studio 7.0软件中的Amorphous Cell模块进行对象构建,在不同体系中利用Discover模块进行优化和运算,以水分子为探针进行FFV值测试,模拟计算得到FFV,再利用其变化率,来预测缓蚀组分间的协同效应,并通过传统方法验证该方法的正确性.结果 FFV模拟结果表明,在CO2体系中,MTIAS与AB2N具有协同效应,当二者按照摩尔比3:2复配时的FFV最小,FFV的变化值D值最大,协同效应最好,缓蚀效率最高,而MTIAS与CPQA没有明显协同效应.在CO2/H2S体系中,MTIAS与CPQA按照摩尔比4:1复配时的FFV最小,D值最大,协同效应最好,缓蚀效率最高;而当按照摩尔比1:4复配时,却出现了明显的拮抗效应,此时MTIAS与AB2N没有明显协同效应.失重法、极化曲线的测试结果与上述结果吻合.结论 通过缓蚀剂膜层的FFV预测缓蚀组分间的协同效应,是一种快速有效的研究方法.