扫描探针显微镜轴向位移测量误差校准结果的不确定度评定

• 作者: 凌珊 张欣宇 罗文诗 韩强
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 XYZ轴 位移测量误差 不确定度
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 所属期刊栏目: 误差与不确定度
• 页码范围: 108-111
• 页数: 4页
• 分类号: TH822
• 语种: 中文
• DOI: 10.15988/j.cnki.1004-6941.2020.11.036

摘要

扫描探针显微镜主要应用于微电子技术、生物技术、信息技术和纳米技术等各种尖端科学领域,是纳米科技发展的共性关键技术,其位移测量精度是重要的计量参数,因而对其进行校准,保证其测量值准确可靠尤为重要.本文利用量值可溯源至中国计量科学研究院的二维纳米线间隔样板和纳米级台阶样板建立了扫描探针显微镜校准装置,实现对扫描探针显微镜X轴、Y轴、Z轴位移测量误差的校准,并对校准结果进行了不确定度评定.