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摘要:
在生产多晶硅期间将会产出大量的废气,如不正确处理,将严重危及生态环境,在现代经济持续发展的背景下,环保要求越来越严格,必须采取适当策略对废气进行高效处理.对此,就多晶硅生产中废气处理工艺进行简要分析.
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还原炉
残留物
清理工艺
多晶硅
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 多晶硅生产中废气处理工艺改造
来源期刊 云南化工 学科 工学
关键词 工艺改造 废气处理 多晶硅
年,卷(期) 2020,(4) 所属期刊栏目 经验交流与探讨
研究方向 页码范围 184-185
页数 2页 分类号 TQ127.2
字数 3015字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-275X.2020.004.073
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作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 吴伟 1 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
节点文献
工艺改造
废气处理
多晶硅
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
云南化工
月刊
1004-275X
53-1087/TQ
大16开
昆明市滇池路1417号云天化集团科技楼
1970
chi
出版文献量(篇)
6365
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17
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13197
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