高纯氨生产工艺技术探讨

• 作者: 沈钦赐
• 来源期刊: 新型工业化
• 关键词: 半导体 LED 高纯氨 7N 生产工艺
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 机械工业
• 页码范围: 40-41
• 页数: 2页
• 分类号: O471.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.19335/j.cnki.2095-6649.2020.10.018

摘要

随着绿色能源和半导体的崛起,LED和半导体的使用越来越广泛,导致市场对半导体和LED生产所需的高纯氨气需求增大.通过目前不同的高纯氨生产的工艺进行比较来探讨其优劣势.