高气密性碱金属微气室低温阳极键合技术研究

• 作者: 冯进军 李兴辉 杜婷 蔡军 陈海军 韩攀阳
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 碱金属 微气室 微加工技术 低温阳极键合 表面处理
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: TN305|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2020)11-0014-04

摘要

对基于硅孔成型和玻璃—硅低温阳极键合实现微型气室的工艺技术进行研究.分析了不同基片表面状态、温度和电压对阳极键合工艺的影响并进行实验验证.基片表面气泡观察、气室剖面电镜照片分析、键合强度测试和气室密封性测试结果表明,该工艺技术能够得到综合性能良好的微气室.在180～300℃温度范围内,样品的键合强度在几兆帕(MPa)到几十兆帕范围,微气室漏气率均优于1.0×10-13 Pa·m3·s-1,表明该工艺技术可用于碱金属微气室制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯进军		34	163	6.0	11.0
2	蔡军		14	77	5.0	8.0
3	杜婷		2	0	0.0	0.0
4	李兴辉		4	11	2.0	3.0
5	韩攀阳		1	0	0.0	0.0
6	陈海军		2	0	0.0	0.0