自检式石英振梁加速度计的极板间距研究

• 作者: 梁金星 胡佳佳
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 自检式 石英振梁加速度计 吸合 极板间距
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 25-28,32
• 页数: 5页
• 分类号: TP212|TH824
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2020)11-0025-04

摘要

极板间距与自检式石英振梁加速度计的自检性能密切相关.过大的极板间距影响器件的工程化,过小的极板间距无法满足器件工作位移,因此极板间距是设计自检式石英振梁加速度计的关键.针对该问题,建立了理想静电驱动模型与吸合模型.通过理论分析和仿真优化,获取临界吸合电压函数.同时,研究了电压对两种模型加速度的影响,并对两者误差进行分析.最终得出极板间距与所能模拟加速度最大值呈现线性关系.提出了极板间距设定流程,并证明极板间距为19μm时,自检式石英振梁加速度计自检性能最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁金星		3	0	0.0	0.0
2	胡佳佳		1	0	0.0	0.0