键合参数对Ag-5Au键合合金线无空气焊球及键合强度影响研究

• 作者: 周延军 宋克兴 张俊超 徐旭 曹军 花涵
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: Ag-5Au键合合金线 烧球参数 超声功率 键合压力 键合强度
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 研究·开发
• 页码范围: 10168-10172
• 页数: 5页
• 分类号: TG249.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2020.10.026

摘要

利用自动焊线机、推拉力测试仪、扫描电镜等研究了烧球电流、烧球时间、超声功率和键合压力对Ag-5Au键合合金线FAB(Free Air Ball)特性及键合强度的影响.研究结果表明当烧球时间为750μs,烧球电流为2600 mA时FAB球形成椭圆形,烧球电流为2800 mA时FAB出现高尔夫球;烧球电流为2700 mA,烧球时间为700μs时FAB偏小,烧球时间为800μs时FAB偏大;当烧球时间为750μs烧球电流为2700 mA时FAB形貌良好.当超声功率为85 mW键合压力为65 g时造成焊盘的损坏;超声功率为50 mW键合压力为35 g时出现假焊;超声功率为60 mW键合压力为45 g时键合强度良好.