微机械加工技术及其在传感器中的应用研究

• 作者: 王仁鑫
• 来源期刊: 中国航班
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微机械加工 微机械加工技术 传感器 应用
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 页码范围: 0125-0125
• 页数: 1页
• 分类号: V

摘要

近年来我国在微机械加工技术取得了突破性的进展,微机械加工技术是一项新兴技术,它在人们的生活和工作中发挥了不可或缺的作用,受到了社会的广泛关注。本文首先从 LIGA 技术、微放电加工技术、腐蚀技术、硅键合技术等四个方面对微机械加工的基本技术进行了分析;其次从石英加速度传感器、热红外传感器和光纤传感器等三个方面详细阐述了微机械加工技术在传感器中的应用。

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1	王仁鑫		1	0	0.0	0.0