CMOS图像传感器改善灵敏度的工艺研究

• 作者: 叶红波 史海军
• 来源期刊: 集成电路应用
• 关键词: 集成电路制造 CMOS图像传感器 色彩滤镜工艺 微透镜工艺 灵敏度
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造|Process and Fabrication
• 页码范围: 23-25
• 页数: 3页
• 分类号: TN43|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2020.01.008

摘要

CMOS图像传感器芯片(CIS)的功能是把光学图像的信号转换为电信号,采集电信号并传输图像信号的器件.CMOS图像传感器广泛应用于手机数码产品、监控、汽车电子、工业应用、AR/VR、医疗以及科学探测等领域.通过对CMOS图像传感器色彩滤镜和微透镜工艺进行研究,介质层工艺改善,色彩滤镜材料改善,滤镜工艺改善,微透镜工艺改善来提升CMOS图像传感器的光学吸收效率,达到灵敏度提升的效果.