单晶碳化硅的电磁场励磁大抛光模磁流变抛光

• 作者: 刘坚 卢建刚 尹建刚 尹韶辉 彭博 邓子默 郭源帆 黄帅
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅晶片 磁流变抛光 大抛光模 表面粗糙度 电磁场
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 表面质量控制及检测
• 页码范围: 309-315
• 页数: 7页
• 分类号: TG707|TG580.692
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.10.036

摘要

目的 研发一种高精高效单晶碳化硅表面抛光技术.方法 采用电磁场励磁的大抛光模磁流变抛光方法加工单晶碳化硅,利用自制的电磁铁励磁装置与磁流变抛光装置,进行单因素实验,研究电流强度、工作间隙和抛光时间等工艺参数对单晶碳化硅磁流变抛光加工性能的影响,并检测加工面粗糙度及其变化率来分析抛光效果.结果 在工作间隙1.4 mm、电流强度12 A的工艺参数下,加工面粗糙度值随着加工时间的增加而降低,抛光60 min后,加工面粗糙度值Ra达到0.9 nm,变化率达到98.3％.加工面粗糙度值随通电电流的增大而减小,随着工作间隙的增大而增大.在工作间隙为1.0 mm、通电电流为16 A、加工时间为40 min的优化参数下抛光单晶碳化硅,可获得表面粗糙度Ra为0.6 nm的超光滑表面.结论 应用电磁场励磁的大抛光模盘式磁流变抛光方法加工单晶碳化硅材料,能够获得亚纳米级表面粗糙度.