化学气相沉积钨涂层的研究现状与进展

• 作者: 丛大龙 何庆兵 宋凯强 张福林 李忠盛 王旋
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 钨涂层 微观组织 耐辐射 耐磨 耐蚀 高温防护
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 研究综述
• 页码范围: 141-148
• 页数: 8页
• 分类号: TG174.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.09.015

摘要

化学气相沉积钨涂层具有工艺简单、技术成熟度高、涂层综合质量优异等特点,广泛应用于国防、航天、核工业等领域.首先介绍了化学气相沉积钨涂层的原理和特点,重点讨论了化学气相沉积钨涂层的工艺及应用研究现状,包括化学气相沉积钨涂层微观组织控制工艺及在耐辐射、耐磨耐蚀和高温防护领域的应用,同时对新型化学气相沉积钨涂层技术的发展进行了展望.一是改善现有工艺存在的反应气源与反应产物毒性大等问题,满足绿色环保的发展要求;二是改善现有工艺存在的沉积温度高、沉积速率偏低等问题,实现在不同衬底表面的高效、高质量沉积;三是改善现有化学气相沉积钨涂层结构与功能单一等问题,满足构件对钨涂层高性能和多功能的需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李忠盛		28	48	4.0	6.0
2	何庆兵		11	29	4.0	5.0
3	宋凯强		6	7	2.0	2.0
4	丛大龙		10	15	2.0	3.0
5	张福林		2	0	0.0	0.0
6	王旋		1	0	0.0	0.0