激光陀螺稳频器压电陶瓷片微位移自动化测量

• 作者: 任同群 李欣 王晓东 罗怡
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光陀螺稳频器 压电陶瓷片 微位移测量 自动化设备
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 智能与自动化
• 页码范围: 89-92,160
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.9|TM282
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2020.09.030

摘要

激光陀螺稳频器采用双压电陶瓷片作为驱动元件,用来实现对激光陀螺谐振腔长的双向调节,稳定激光陀螺的工作频率.压电陶瓷片要求配对使用,并具有相同的性能,在相同的驱动电压下具有近似一致的位移量,因此,需要对压电陶瓷片的微位移进行精确测量并配对使用.实验研究了充放电次数对压电陶瓷片位移量的影响,形成了基于高精度电感测微仪的双测头测量工艺方法;为实现压电陶瓷片的批量测量,设计了能够实现批量自动化测量的技术方案,并研制了设备.设备采用真空吸附方式拾取压电陶瓷片,避免机械夹取的意外损伤;利用球面轴承和弹性探针组合,保证上电极与陶瓷片接触均匀.实验结果表明,设备测量的重复精度优于0.06μm,能有效保证陶瓷片的一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗怡		53	695	13.0	25.0
2	王晓东		115	1141	19.0	28.0
3	李欣		6	98	4.0	6.0
4	任同群		11	28	3.0	5.0