一种新型W波段基片集成波导带通滤波器设计

• 作者: 王文 邢小明 夏侯海
• 来源期刊: 电子测量技术
• 关键词: 带通滤波器 基片集成波导 交叉耦合 硅基 微电子机械系统
• 年，卷（期）: 2020,（17）
• 所属期刊栏目: 研究与设计|Research and Design
• 页码范围: 30-34
• 页数: 5页
• 分类号: TN713
• 语种: 中文
• DOI: 10.19651/j.cnki.emt.2004480

摘要

针对传统W波段带通滤波器尺寸大、重量大以及集成难度高的问题,基于微电子机械系统(MEMS)硅微加工技术,提出了一种结构更为紧凑的新型基片集成波导(SIW)带通滤波器.该滤波器具有3层高阻硅结构,由4个SIW谐振腔和一段半波长SIW传输线构成,可获得四阶切比雪夫响应和1对传输零点.同时,采用共面波导(CPW)端口更易于电路集成.为验证设计方案的有效性与性能的优越性,通过对比实验的方法,同时设计另一种五阶直接耦合滤波器进行滤波选择性上的比较.最终得到该新型滤波器的电磁仿真结果为中心频率为93 GHz,相对带宽为6.1％,带外抑制大于35 dB,矩形系数为1.57.通过实验验证,该滤波器具有良好的滤波性能,选择性更高,同时结构简单紧凑、尺寸小、易于集成.