电致伸缩驱动的微进给测控系统设计

• 作者: 王青
• 来源期刊: 电子测量技术
• 关键词: 压电陶瓷 电致伸缩 差动变压器 PID
• 年，卷（期）: 2020,（16）
• 所属期刊栏目: 研究与设计|Research and Design
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TM464
• 语种: 中文
• DOI: 10.19651/j.cnki.emt.2004740

摘要

针对传统微定位机构常采用机械定位装置,存在着自动化程度不高、结构复杂、定位精度低等缺点,设计了一种基于压电陶瓷的电致伸缩驱动的微进给测控系统,该微进给测控系统基于高压放大器容性负载驱动电源的设计方案,讨论了以柔性铰链为导向机构的基本单元及弹性支承组成机械传动结构.由于电感式传感器分辨率较高,非线性误差小而且其结构简单、工作可靠、稳定性较好及抗干扰能力强,所以该设计采用差动变压器式位移传感器.差动变压器输出采用相敏检波器的方法对输出信号检波.控制器选择非线性PID的控制方法,其增益参数随误差变化而变化,使控制效果更好.为了对微进给系统校准,采用立式光学计进行测量校准的方法,对微位移进行测量校准,最后,采用立式光学计进行测量校准并对进给系统误差分析与不确定度进行了分析.