一种尖锐扫描隧道显微镜针尖的制备方法

• 作者: 曾红 王学慧 程协
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: 钨 尖锐 针尖 提拉
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 理论与算法
• 页码范围: 61-62
• 页数: 2页
• 字数: 1816字
• 语种: 中文

摘要

采用电化学刻蚀方法来制备针尖,然后通过提拉法得到与静态刻蚀相比更尖锐的针尖.本文研究了提拉速度对针尖形貌的影响,采用扫描电子显微镜(SEM)观察了针尖形貌.结果 表明,当提拉速度过慢时,得到的针尖形貌与静态刻蚀相似,无明显优势;当提拉速度过快时导致钨丝尖端离开液面无法刻蚀;提拉速度为4 μm/s时可以得到尖锐的针尖.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王学慧	中国电子科技集团公司第三十八研究所	2	0	0.0	0.0
2	曾红	中国电子科技集团公司第三十八研究所	2	0	0.0	0.0
3	程协	中国电子科技集团公司第三十八研究所	2	0	0.0	0.0