单点金刚石飞切技术的纵向纹路形成机理研究及抑制措施

• 作者: 张剑锋 金波佳
• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 工学
• 关键词: 纵向纹路 单点金刚石飞切技术 接触刚度 空间周期
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 机械制造与应用
• 页码范围: 150-152
• 页数: 3页
• 分类号: TG5
• 语种: 中文

摘要

单点金刚石飞切技术目前是大口径KDP晶体加工最有效的方法,一次加工即可形成高精度元件表面,但加工后表面存在沿进给方向的纵向纹路,该纹路对元件的光学性能存在明显的影响.文中从纵向纹路的形成机理研究出发,通过调整机床不同部件的接触刚度,使纵向条纹的频率和幅值发生变化,从而提高元件的光学性能.实验结果表明,减小机床横梁与立柱之间的接触刚度时,纵向纹路的周期约为55 mm,幅值约为40 nm,满足了该晶体元件的性能指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金波佳		1	0	0.0	0.0
2	张剑锋		2	2	1.0	1.0