高灵敏复合光波导硫化氢气体传感器的研究

• 作者: 克迪里亚·吾麦尔 姑丽各娜·买买提依明 买买提艾沙·苏莱曼 帕提曼·尼扎木 阿布力孜·伊米提
• 来源期刊: 光学学报
• 关键词: 传感器 复合光波导 酞菁锌 TiO2 硫化氢
• 年，卷（期）: 2020,（24）
• 所属期刊栏目: 遥感与传感器|Remote Sensing and Sensors
• 页码范围: 159-166
• 页数: 8页
• 分类号: O659.32
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.2428001

摘要

通过浸渍提拉法制备出TiO2薄膜/锡掺杂玻璃复合光波导(OWG)元件,在其表面利用旋转甩涂法固定一层酞菁锌(ZnPc)敏感层,制备了高灵敏度的硫化氢(H2S)复合()WG气体传感器.优化传感器的制备条件,当提拉机的提拉速度为80 mm ? min-1、匀胶机转速为1600 r ? min-1、ZnPc的质量分数为0.05％时,该传感器对H2S气体的选择性响应最佳,可以检测到体积分数为1×10-9的H,S气体.此外,该传感器在一个月内表现出良好的稳定性.