激光共焦LIBS显微成像系统的研制

• 作者: 黄伟华 贺春景 赵维谦 邱丽荣
• 来源期刊: 光学学报
• 关键词: 光谱学 共焦 激光诱导击穿光谱学 高空间分辨 多元素图谱
• 年，卷（期）: 2020,（24）
• 所属期刊栏目: 光谱学|Spectroscopy
• 页码范围: 194-203
• 页数: 10页
• 分类号: O433.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.2430002

摘要

针对复杂形貌样品微区化学成分难以表征的难题,研制了一套激光共焦诱导击穿光谱(LIBS)显微成像系统.该系统利用反射的连续激光构建高空间分辨的激光共焦显微系统,实现样品的精准定焦及三维形貌测量;利用共光路脉冲激光诱导激发等离子体光谱信号,实现样品微区全元素探测,进而实现具有高空间分辨、抗漂移特性的三维LIBS显微元素成像.实验表明,该系统可以实现横向分辨率为10μm的多元素图谱成像,系统光谱探测的合成不确定度为2.24％.该系统结合形貌信息和LIBS光谱信息实现三维图谱成像,为生物组织、微纳材料等复杂形貌样品的化学表征提供了新的有效途径.