有机层上Ti/Al/Ti干法刻蚀中Al腐蚀问题研究

• 作者: 姜龙 宋亮 杨国波 蒋冬华 赵吾阳 鲁栋良
• 来源期刊: 电子世界
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 所属期刊栏目: 探索与观察
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 字数: 2365字
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨国波		4	15	1.0	3.0
2	姜龙		1	0	0.0	0.0
3	鲁栋良		1	0	0.0	0.0
4	宋亮		1	0	0.0	0.0
5	蒋冬华		2	6	1.0	2.0
6	赵吾阳		1	0	0.0	0.0