调相机冷却系统的冷却水pH在线监测方法

• 作者: 陈刚 王梦玲 罗军 张阳 赵鹏
• 来源期刊: 集成电路应用
• 关键词: 调相机 冷却系统 pH 在线监测
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 创新应用|Applications
• 页码范围: 58-59
• 页数: 2页
• 分类号: TP311.13|F426.61
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2020.01.023

摘要

基于在线监测冷却系统冷却水pH值的重要性,分析调相机冷却系统特殊的应用环境,测量过程中存在的问题和干扰因素,提出应对方案.