氧化铟传感器对VOCs的动态测试方法研究

• 作者: 孟凡利 陈雅茹 黎子聪 曹紫超 陈志实
• 来源期刊: 电子测量技术
• 关键词: 半导体气体传感器 动态测试 间隔时间 功耗
• 年，卷（期）: 2020,（17）
• 所属期刊栏目: 传感器及非电量检测技术|Sensor and Non-electricity Measurement
• 页码范围: 137-142
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.19651/j.cnki.emt.2004706

摘要

金属氧化物气体传感器具有灵敏度高、响应迅速等优点,在VOCs气体检测方面发挥着重要的作用.采用水热法制备了In2O3气体传感器,通过动态测试证明了当矩形波作为加热电压波形时,可以增加电流响应曲线的特征峰.针对2-丁酮、甲酸、乙醇、乙酸乙酯气体,固定加热电压区间为4～7 V,改变动态测试时矩形波的占空比和相邻加热周期间隔时间,结果表明在占空比为1/2、相邻加热周期间隔10s的条件下,电流响应曲线可以获得较多特征峰.在不降低动态响应信号品质的前提下,也缩短了在实际应用中的功耗.