溶胶-凝胶法制备氧化锡基薄膜及薄膜晶体管的研究进展

• 作者: 刘贤哲 姚日晖 宁洪龙 张旭 彭俊彪 袁炜健 陈艺涛 陶洪 黄健朗 黄江夏
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 氧化锡 溶胶-凝胶法 透明导电氧化物薄膜 透明氧化物半导体薄膜 薄膜晶体管 p型半导体薄膜
• 年，卷（期）: 2020,（22）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 242-257
• 页数: 16页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.69.20200653

摘要

透明导电氧化物(transparent conductive oxides,TCOs)薄膜和透明氧化物半导体(transparent oxide semiconductors,TOSs)薄膜具有高透明度和良好的导电率等特点,广泛应用于太阳能电池、平板显示、智能窗以及透明柔性电子器件等领域.大多数TCOs和TSOs薄膜主要是以氧化铟、氧化锌和氧化锡三种材料为基础衍生来的,其中,氧化铟薄膜中In元素有毒、含量稀少且价格昂贵,会造成环境污染;氧化锌薄膜对酸或碱刻蚀液敏感,薄膜图形化困难;氧化锡薄膜不仅无毒、无污染、价格低廉,还具有良好的电学性能和化学稳定性,具有巨大的发展潜力.目前,薄膜的制备主要依赖于真空镀膜技术.此类技术的缺点在于设备结构复杂且价格昂贵、能耗高、工艺复杂、生产成本高等.相比传统真空镀膜技术,溶胶-凝胶法具有工艺简单、成本低等优点,受到了人们的广泛关注.本文从TCOs和TSOs薄膜的发展现状和发展趋势出发,先介绍了氧化锡薄膜的结构特性、导电机制、元素掺杂理论以及载流子散射机理,然后介绍了溶胶-凝胶法原理和制备方法,接着介绍了近些年来溶胶-凝胶法制备氧化锡基薄膜在n型透明导电薄膜、薄膜晶体管以及p型半导体薄膜中的应用和发展,最后总结了当前存在的问题以及今后研究的方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘贤哲		1	0	0.0	0.0
2	张旭		1	0	0.0	0.0
3	陶洪		1	0	0.0	0.0
4	黄健朗		1	0	0.0	0.0
5	黄江夏		1	0	0.0	0.0
6	陈艺涛		1	0	0.0	0.0
7	袁炜健		1	0	0.0	0.0
8	姚日晖		1	0	0.0	0.0
9	宁洪龙		1	0	0.0	0.0
10	彭俊彪		1	0	0.0	0.0