光电耦合器内部气氛控制技术及工艺研究

• 作者: 吴琼瑶
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 光电耦合器 内部气氛 多维度内部气氛控制 迭代验证
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 创新实践
• 页码范围: 128-129
• 页数: 2页
• 分类号: TN622
• 语种: 中文
• DOI: 10.15913/j.cnki.kjycx.2020.09.054

摘要

为满足尖端领域对高可靠性元器件内部气氛控制的要求,分析了内部气氛的构成及现有内部气氛控制水平,并基于现有工艺,采取多维度内部气氛控制的工艺措施,在各工艺维度上,通过试验研究对工艺条件进行迭代验证,并增加配套控制措施,确定了各工艺维度的条件.经过试验验证,内部气氛控制水平有显著提升,可满足航天高可靠性的控制要求且有较大余量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴琼瑶	中国电子科技集团公司第四十四研究所	7	21	1.0	4.0