高采样频率位移测量系统硬件架构设计

• 作者: 周航汛 张文涛 熊显名 谢仁飚
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 位移测量 硬件架构设计 采样频率 多核DSP 光栅尺掩模台 仿真平台搭建
• 年，卷（期）: 2020,（22）
• 所属期刊栏目: 电子与信息器件
• 页码范围: 10-14
• 页数: 5页
• 分类号: TN874+.3-34
• 语种: 中文
• DOI: 10.16652/j.issn.1004-373x.2020.22.003

摘要

在高端光刻机中,光栅尺掩模台位移测量系统拥有较复杂的运算模型,而且要求测量系统硬件架构能满足20 kHz高采样频率的需求.通过对国内运动台位移测量系统硬件架构进行对比研究,提出一种兼容以往软件架构的基于多核DSP运算板卡的光栅尺掩模台位移测量系统硬件架构,使用多核DSP内核间共享内存通信的机制,取代运算板卡间数据总线通信的机制,同时由板内PCIe总线互联片上多核DSP与FPGA.搭建硬件在环仿真平台进行实验,实验结果表明,系统获取原始数据、进行模型运算以及发送位置数据的总体性能提升百分比约为136％,保证模型运算精度的同时,满足20 kHz采样频率的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊显名		99	367	10.0	14.0
2	张文涛		105	506	10.0	18.0
3	周航汛		1	0	0.0	0.0
4	谢仁飚		2	0	0.0	0.0