面向IC封装的龙门运动平台同步控制算法

• 作者: 贺云波 李展超
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 龙门运动平台 永磁直线电机 模糊控制 前馈控制 交叉耦合
• 年，卷（期）: 2020,（22）
• 所属期刊栏目: 建模与仿真
• 页码范围: 120-124
• 页数: 5页
• 分类号: TH16|TP27
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2020.22.024

摘要

基于永磁直线电机(PMLM)的龙门式运动平台广泛应用于芯片封装领域,但由于两PMLM间存在横梁机械耦合,因此较难实现系统的快速响应和精准同步.以龙门运动平台为研究对象,设计三环闭合控制回路后,提出一种基于模糊前馈的控制策略,同时辅以交叉耦合同步控制器,实现系统的快速同步性能.对传统PID同步控制和基于模糊前馈的同步控制算法进行对比分析,仿真结果表明:模糊前馈控制阶跃响应的上升时间为48.5 ms,比传统PID控制缩短了65％;交叉耦合同步算法在保证定位精度的同时,使得系统具有良好的同步跟随性能和较强的抗干扰能力,基本满足芯片封装高速高精度的要求.