光刻机工件台定位平台结构设计

• 作者: 叶圣义 徐世福 桑锦凯
• 来源期刊: 机电信息
• 关键词: 光刻机 定位台 三轴联动
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 设计与分析
• 页码范围: 104-105
• 页数: 2页
• 字数: 1581字
• 语种: 中文

摘要

针对光刻机工件台易受到微小震动而引起图像偏差的问题,对工件台定位平台的结构进行了优化设计,同时改进了工作台的调节方式,对今后光刻机工件台的研究与改进具有良好的借鉴意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐世福	宁波大学科学技术学院机械工程与自动化学院	9	0	0.0	0.0
2	桑锦凯	宁波大学科学技术学院机械工程与自动化学院	4	0	0.0	0.0
3	叶圣义	宁波大学科学技术学院机械工程与自动化学院	3	0	0.0	0.0