TiNi薄膜的形状记忆性能及其应用

• 作者: 刘士宇 时方晓
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: TiNi薄膜 形状记忆效应 TiNi合金组分对相变的影响 微驱动器应用
• 年，卷（期）: 2020,（11）
• 所属期刊栏目: 材料:实验与研究
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: TB381
• 语种: 中文

摘要

TiNi合金薄膜由于其形状记忆特性等在相变过程中,伴随着力学,物理,化学,电学及光学性能的显著变化.此外,TiNi薄膜对环境的改变非常敏感,包括热场、应力场、电场以及磁场等,因此是一种可用于微型传感器的理想材料.本文对TiNi薄膜的形状记忆效应(SME)以及其目前领域的应用进行了综述,重点介绍了合金组分对磁控溅射法制备薄膜SME特性的影响,以及TiNi合金薄膜目前在微驱动器,如微泵、微阀、微钳等方面的应用,并对未来该研究领域的发展方向提出了一些看法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	时方晓		8	11	2.0	3.0
2	刘士宇		1	0	0.0	0.0