铜合金层蚀刻液专利分析

• 作者: 刘化然 闫蕾
• 来源期刊: 广东化工
• 学科: 工学
• 关键词: 铜合金层 蚀刻液 专利分析
• 年，卷（期）: 2020,（12）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 116-117
• 页数: 2页
• 分类号: TQ
• 字数: 2002字
• 语种: 中文

摘要

本文以德温特专利数据库为基础,通过对专利文献的宏观分析以及对重点申请人的技术分析,对铜合金层蚀刻液的发展现状进行了分析,并提出了相关建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘化然		6	11	2.0	3.0
2	闫蕾		7	6	1.0	2.0