湿式除尘器在光电半导体行业砷化镓尾气净化中的应用

• 作者: 潘保堂
• 来源期刊: 产业科技创新
• 学科: 地球科学
• 关键词: 湿式除尘器 砷化镓 尾气净化
• 年，卷（期）: 2020,（35）
• 页码范围: 22-24
• 页数: 3页
• 分类号: X701

摘要

随着信息技术产业的飞速发展,特别是5G时代的到来,人民对高性能芯片的需要与日俱增。作为该产业的底层支撑的半导体材料有着非常的市场需求。特别是以砷化镓材料为主的新型高性能半导体材料有着非常良好的市场前景。伴随行业的发展,半导体材料的生产制作过程中排放的大量废气和其他种类繁多的有毒有害污染物对环境的影响也越来越大。