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摘要:
CrN涂层具有良好的力学性能被广泛研究和使用,但热硬性、抗氧化性差成为限制其进一步应用的主要缺点.为了解决这些问题,人们研究了多种三元涂层.其中,AlCrN涂层具有高硬度、良好的摩擦磨损性能和优异的抗氧化性,是一种很有前途的氮化物保护涂层.揭示A1含量对AlCrN的影响规律对进一步改善AlCrN涂层性能具有重要意义.本文总结了Al含量对磁控溅射AlCrN涂层力学性能、摩擦磨损性能和高温稳定性的影响规律,并探讨了其机理.发现在AlCrN达到最佳综合性能时对应的Al含量有所差异,这可能是由于不同制备方法的离化率不同所致.
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关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 Al含量对磁控溅射AlCrN涂层的影响研究进展
来源期刊 广东化工 学科 工学
关键词 AlCrN 涂层 Al含量 磁控溅射 性能
年,卷(期) 2020,(14) 所属期刊栏目 专论与综述
研究方向 页码范围 78-80
页数 3页 分类号 TG174.4
字数 2775字 语种 中文
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广东化工
半月刊
1007-1865
44-1238/TQ
大16开
广东省广州市越秀区越华路116号
46-211
1974
chi
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