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Al含量对磁控溅射AlCrN涂层的影响研究进展
Al含量对磁控溅射AlCrN涂层的影响研究进展
作者:
付志强
车众元
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
AlCrN
涂层
Al含量
磁控溅射
性能
摘要:
CrN涂层具有良好的力学性能被广泛研究和使用,但热硬性、抗氧化性差成为限制其进一步应用的主要缺点.为了解决这些问题,人们研究了多种三元涂层.其中,AlCrN涂层具有高硬度、良好的摩擦磨损性能和优异的抗氧化性,是一种很有前途的氮化物保护涂层.揭示A1含量对AlCrN的影响规律对进一步改善AlCrN涂层性能具有重要意义.本文总结了Al含量对磁控溅射AlCrN涂层力学性能、摩擦磨损性能和高温稳定性的影响规律,并探讨了其机理.发现在AlCrN达到最佳综合性能时对应的Al含量有所差异,这可能是由于不同制备方法的离化率不同所致.
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文献信息
篇名
Al含量对磁控溅射AlCrN涂层的影响研究进展
来源期刊
广东化工
学科
工学
关键词
AlCrN
涂层
Al含量
磁控溅射
性能
年,卷(期)
2020,(14)
所属期刊栏目
专论与综述
研究方向
页码范围
78-80
页数
3页
分类号
TG174.4
字数
2775字
语种
中文
DOI
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磁控溅射
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主办单位:
广东省石油化工研究院
出版周期:
半月刊
ISSN:
1007-1865
CN:
44-1238/TQ
开本:
大16开
出版地:
广东省广州市越秀区越华路116号
邮发代号:
46-211
创刊时间:
1974
语种:
chi
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