氮化镓中铬含量的二次离子质谱分析方法研究

• 作者: 张鑫
• 来源期刊: 科技风
• 关键词: 氮化镓 二次离子质谱 离子注入 相对灵敏度因子
• 年，卷（期）: 2020,（10）
• 所属期刊栏目: 理论研究
• 页码范围: 231
• 页数: 1页
• 字数: 707字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19392/j.cnki.1671-7341.202010205

摘要

本文采用二次离子质谱仪检测氮化镓材料中离子注入Cr的浓度,使用相对灵敏度因子法对氮化镓中Cr含量定量分析,为相关生产工艺和实验研究提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鑫	中国电子科技集团公司第四十六研究所	9	3	1.0	1.0