系统阻尼对微型机械传感器性能的影响研究

• 作者: 张强 王晓光 王满苹 陈兰
• 来源期刊: 科技风
• 关键词: 阻尼 机械传感器
• 年，卷（期）: 2020,（26）
• 所属期刊栏目: 机械化工
• 页码范围: 127-128,188
• 页数: 3页
• 语种: 中文
• DOI: 10.19392/j.cnki.1671-7341.202026064

摘要

系统频率稳定性与共振品质因数非常重要,二者是描述机械共振的关键性能指标.本文通过研究发现,降低品质因数能够提高微型机械共振传感器的频率稳定性.通过在一定的带宽下展示传感器的温度分辨率,指出低带宽中增加系统阻尼可带来更高的稳定性和传感器分辨率,从而可以对研发高性能超灵敏共振器提供帮助.