大直径砷化镓发展趋势及应用

• 作者: 周铁军 廖彬 王金灵
• 来源期刊: 科技风
• 关键词: 大直径砷化镓 发展趋势 应用
• 年，卷（期）: 2020,（31）
• 所属期刊栏目: 电子信息
• 页码范围: 84-86
• 页数: 3页
• 语种: 中文
• DOI: 10.19392/j.cnki.1671-7341.202031042

摘要

砷化镓广泛应用于光电子和微电子领域,是制作半导体发光二极管和通信器件的关键衬底材料.与硅单晶一样,砷化镓衬底正逐步向大尺寸、高几何精度、高表面质量方向发展.目前,日本住友电工、美国AXT代表着国际领先水平;广东先导先进材料公司代表着国内的领先技术已逐步追赶上国际水平.未来几年,是国内企业研发8英寸产品,向国际水平冲击的重要时期.