二氧化硅平面光波导器件的研究进展

• 作者: 杨斌 尹小杰 李绍洋 吴远大
• 来源期刊: 半导体光电
• 关键词: 有源光子集成波导器件 无源光子集成波导器件 集成光学 光通信系统
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 动态综述
• 页码范围: 151-157,167
• 页数: 8页
• 分类号: TN252
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2021.02.001

摘要

二氧化硅平面光波导(PLC)器件以其低损耗、高工艺容差,以及与CMOS工艺兼容和与单模光纤模场匹配良好等优点,在光通信、光互连和集成光学中得到了广泛的应用.文章综述了二氧化硅平面光波导器件及其应用的进展,重点针对分束器、阵列波导光栅、可调光衰减器及其集成器件的最新研究进行了介绍,对未来发展趋势进行了展望.