金属氧化物半导体SO2气体传感器的研究现状

• 作者: 刘航 王秋晨 于兰伊 王林康
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: SO2传感器 金属氧化物半导体 复合材料
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 1-3,11
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)02-0001-03

摘要

介绍了气敏机理,总结了近年来国内外基于金属氧化物半导体的SO2气敏材料的研究现状,指出了基于金属氧化物半导体SO2气体传感器的不足之处,提出设计复合材料、优化合成方法是提高SO2气敏材料敏感特性的研究方向.