CVD法制备铝化物涂层装置沉积室内前驱体流场仿真设计研究

• 作者: 张博闻 吴勇 杨甫 黄天纵 孟施旭 赵智鑫
• 来源期刊: 材料保护
• 关键词: CVD 铝化物涂层 计算流体力学 仿真设计
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TG156.8
• 语种: 中文

摘要

为了制备均匀的CVD铝化物涂层,应保证沉积室内前驱气体的流场分布的均匀性.采用计算流体力学方法对沉积室内的前驱流体流场进行了仿真研究,对比了装备A、B、C型3种布风装置的CVD沉积室内流场的变化;对比了将初始进气口平均流速v经验提升至其1.5,2.0,2.5,5.0倍后沉积室内流场的变化.结果 表明:选择B型布风装置能令前驱气体均匀地从进气口流向沉积室内部,且被充分加热;前驱体的最大流速vmax在2.0v经验≤vmax＜2.5v经验时可保证气流分布、温度分布的均匀性.利用此结果,指导设计了CVD沉积室的布风装置,同时探讨了提升前驱体流速对气体流场均匀性的影响.