亚波长金属光栅偏振器制备技术研究

• 作者: 杨江涛 王健安 王银 胡啸
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性 光栅偏振器 TM透射效率 消光比
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 8-12
• 页数: 5页
• 分类号: TH706
• 语种: 中文

摘要

亚波长周期结构光栅具有传统光栅所不具有的特殊特性,采用严格耦合波法设计并制作了一种柔性双层金属光栅偏振器,通过纳米压印技术在方形的PC(Polycarbonate,聚碳酸酯)上制备了周期为278 nm,深度为110 nm,占空比为0.5的亚波长光栅,通过磁控溅射技术在制作的介质光栅上沉积了70 nm的金属铝层,制作了具有双层金属结构的柔性双层金属光栅偏振器,并用光谱测试系统进行了简单的性能测试.实验结果表明,当入射光波长范围在350～800 nm时,制作的柔性双层光栅偏振器偏振特性优良,且具有非常高的透过率和消光比,分别高达48％和100000.该制作工艺只由纳米压印和金属蒸镀完成,省去了复杂的涂胶、剥离及刻蚀,因此在大批量生产偏振器方面具有很明显的优势,可普遍用于光探测器件、光电开光等半导体光电子器件的制作过程.